Blitze aus aluminiumoxyd

Die techniken und techniken, die sie beim bau entwickelt und angewendet werden, erfordern verschiedene leistungsanforderungen in einem hochdichten plasmaätzverfahren.

Physische eigenschaften und besondere anforderungen

1.Hohe reinheit und niedrige verunreinigungen:YangHuaLv ton ist müssen ≥ 99,9, metall verunreinigungen (wie MgO, CaO, SiO ₂) der halten 0.05% - 0,8 prozent verringerung werkstoffe plasmaätzverfahren bei zu risiko einer kontaminierung.

2.Entzifferung der atomwissenschaft:In dem plan wird folgendes berücksichtigt: "welches element muss gesetzt werden, welches stopp-druck und hitze erzeugt werden atomexplosion 3,98 g/cm hole", und anschließend wird die oberflächliche festigkeit eines kuchens der nw-größe (jeweils 5 bis 10 meter) verstärkt und beim kuhlverhalten auf niedriger als 0,1 m/h registriert.

3.Übereinstimmung der thermik:RePengZhang für (4,2 mal 10 ⁻ 26 / ℃) müssen metall JiCai wie eintopf) mit, zu überzogen bei hoher temperatur (300 ℃) unter dann, führen,..

Dominanz der performance

1.Plasma -abwehr:In CF ₄ und SF ₆ werkstoffe umfeld traditionelle metall, Gao Chun YangHuaLv die schnell senken Von über 90%, wirksame weniger metalle für entsprachen durch.

2.Stabilität im medien:Unter störendes gewebe, medium konstante (ε der 9.8), werkstoffe die rechnung geht auf.. Für eine % KeShi PouMian senkrecht. Erhöhten ≥ 89,5 °.

3.Oberflächenkontrolle: oberireiniger kontrolle:Eine schale wie ,90 m polymere mit 1,20 m polymere, die skalierung der gasorption und der partikeln begrenzen, um die polarität des gases zu ergänzen und die kriterien für die sauberkeit des systems oberhalb des 7nm zu erfüllen.

Aufanwendungen.

1.Schutz in der kammer:In Lam Research und AMEC unternehmen wie. Werden als, gepolstert Oder,, es zu Cl ₂ und NF ₃ die anzüge gas seiner lebenslänge eine in 2000 stunden.

2.Systeme für den transport"Wie für gasrohre und schwimmbecken verwendet, so wird durch eine exakte porenstruktur (durchmesser 50 bis 100 m) eine abweichung Von 1% der gasgeschwindigkeit erreicht, wie es heißt."

3.Spannemotherapie: yeahDer TanHuaGui daraus für posten KaPan ChenDe, vor 150 ℃ erfolgen sich rund temperatur gleichmäßig sex eine 0,3 ℃, an ein & lt; Wie heißt er? - timmy.

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