Vakuumtechnologie ist die grundlage der halbleiter. Wie beim abladeraum bis zum airadinorsystem, erfordert ein stabiles vakuum, dass es für die optimale anlagenkohärenz gesorgt ist. In diesen systemen werden stickstoff (Si3N4) verwendet, um die stabilität Von vakuumpumpen zu erhöhen.
Die rolle der vakuumpumpen im halbleiterbereich
Die vakuumpumpen Laufen ununterbrochen, um für einen film - und plasmaprozess stabiles hochdruckgebiet zu erhalten. Jedes unglück der lager kann unterbrechung, umweltverschmutzung Oder kostspielige stoppphase verursachen.
Sind traditionelle eisenlager ätzenden abfall - Oder rost ausgesetzt, können sie verhalten. Dieses risiko ist mit hoch entwickelten halbleitergeräten nicht tragbar.
12. Es gibt weniger reibung und kalorien
Stickstoff (Si3N4) hat im vergleich zu stahlkugeln eine sprunghaftere oberflächen und einen niedrigeren reibungskoeffizienten. Durch die reibung wird weniger hitze in einer schnell-vakuumpumpe erzeugt.
Niedrige arbeitstemperatur verlängert die lebensdauer des gleitgel und verringert außerdem massig hitze auf die umgebung.
Nicht magnetisch und elektrisch isoliert
Ein halbleiterwerkzeug enthält üblicherweise empfindliche elektronische elemente. Die Si3N4 sind elektronisch unabhängig und magnetisch, um das lager vor störungen zu schützen. Diese eigenschaft trägt dazu bei, störungen der elektrischen rotation bei hohen geschwindigkeiten zu vermeiden.
Längere lebensdauer bei dauerbetrieb
Die vakuumpumpen des halbleiterbaums Laufen den ganzen tag. Nitrosilizium (Si3N4) eignet sich besser als die herkömmlichen metallalternativen. Verheizen sie die lager, reduzieren die wartungs - frequenz und erhöhen sie die normale laufzeit des ganzen geräts.
Natürlich. - reine zersetzung
Die partikel-verschmutzung ist ein ernstes problem bei der halbleiterproduktion. Die hohe härte und empfindlichkeit Von stickstoffsilikon hat die produktion Von kleinen partikeln verringert. Dadurch sind sie ideal für die isozonen geeignet.
Ein fazit.
Im transitorischen vakuumpumpen sind leistungsstabilität und schadstoffkontrolle entscheidend. Stickstoff (Si3N4) bietet eine zuverlässige lösung, die nachhaltigkeit erhöht, die kalorien verringert und die partikelemission auf ein mindestmaß beschränkt.
