Eine stütze der intaktheit
Und das system mit hohem vakuum (UHV) bildet die grundlage für einen halbleiterprozess, z. B. für ablagerungen und ätzverfahren. Turbinenpumpen und trockene vakuumpumpen müssen mit einem hohen tempo und unter aufrechterhaltung einer unverschmutzten umgebung betrieben werden. Nitrosilikonkugeln werden zunehmend auch in transit-vakuumpumpen verwendet, um die leistungskraft unter diesen bedingungen zu erhöhen.
Wegen der autobahn unter einem vakuum
Die turbinen Laufen meist über 50.000 RPM. Bei diesen geschwindigkeiten:
Die zentrifuge entwickelte sich exponentiell
Die wärmeproduktion ist heute äußerst wichtig
3. Mechanische müdigkeit wird beschleunigt
Die geringe dichte des nitrosilikons schafft stress in der zentrifuge, verringert die rollbahn und erhöht die rotationsstabilität. Das erhöht direkt die raustreten im dauerbetrieb.
Verminderung der partikelproduktion
Eine vakuumkammer trägt die geringste belastung. Liefern Von keramik aus:
Die ersten sind über dem kugellager
2. Eine geringere abnutzungsrate
3. Die dünne abblättern verringern
Dies verringerte die freisetzung Von partikeln in dem vakuummodul auf ein minimum.
Elektrische isolierung
Daß die elektrischen vakuumpumpen anfällig für das setzte setzte. Stickstoffsilikon schaltet den strom aus, verhindert das radlager und verlängert die langlebigkeit der lager.
Den lebensdauer einer halbleiterfabrik
In der fabrik für große Mengen kann der betrieb über die zeit des stopps mit den pumpen direkt in die produktion eingreifen. Verbesserungen mit tonlager - lager:
Die durchschnittliche fehlerfreie zeit (MTBF)
Zwei, wartungstunnel
3. Operations kohärenz
Mit kronenstandards an ultrakardiotischen knoten wurde die integration Von zitzen zur norm.
